By Thomas Elbel

Die Mikrosensorik als Teilgebiet der Mikrosystemtechnik hat einen rasanten Aufschwung genommen. Zur Lösung der grundsätzlichen Aufgabenstellung der Sensorik - der elektrischen Messung vorwiegend nichtelektrischer Meßgrößen- wurde in den zurückliegenden 10 Jahren eine Vielzahl neuer Mikrosensoren mit zum Teil hervorragenden Sensorparametern und mit völlig neuen Anwendungsmöglichkeiten entwickelt. Das Buch will einen Einblick in dieses faszinierende Arbeitsgebiet vermitteln. Das Buch ist als Lehrbuch konzipiert. Es entstand aus meiner Gastvorlesung "Thermische Sensoren/Mikrosensoren" an der ETH Zürich und aus einem Skript für die Vorlesung "Sensoren/Mikrosensoren" an der FH Hannover. Das Buch wendet sich in erster Linie an Studierende, vor allem an Studenten elektrotechnischer Disziplinen. In der meßtechnischen Praxis und in der angewandten Forschung tätige Ingenieure können das Buch zur Einarbei­ tung in die Mikrosensorik anwenden. Zum Verständnis des Buches sind keine besonderen theoretischen Vorkenntnisse erforderlich. Für Leser ohne Vorkenntnisse auf dem Gebiet der Halbleitertechnologie wurden im Kapitel 2 die für die Mikrosensorik wichtigen technologischen Verfahren wie Fotolithografie oder Silizium-Mikromechanik in knapper shape dargestellt. Für ein vertiefendes Studium dieses umfangreichen Fachgebietes wird auf die angegebene Literatur verwiesen. Nach der zusammenfassenden Beschreibung der für alle Mikrosensoren gemeinsamen techno­ logischen Grundlagen werden in den Kapiteln three bis 7 die Sensoren mit ihrer physikalischen Wirkungsweise, ihrem technologischen Autbau und ihren wesentlichen Eigenschaften be­ schrieben. Die Gliederung erfolgt nach der paintings der Meßgröße.

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Teaching with iPad How-to

Shubhangi Harsha and Sumit Kataria, "Teaching with iPad How-to"
English | ISBN: 1849694427 | 2012 | eighty four pages | PDF | five + nine MB

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69 NiCr- NiAl K -200 .......... + 1200 41.. 46 PtlORh- Pt s 0 ................ + 1600 62 ......... 3 Thermoelemente 51 CuNi in der Zusammensetzung 55% Cu und 45% Ni wird als Konstantan bezeichnet. 20 gibt die Thermospannungen dieser Thermoelemente an. Die kalte Kontaktstelle befindet sich dabei auf der Temperatur 0 oc [Lie76]. 20 Kennlinien der Thermopaare vom Typ J, K, S und T Für die praktische Arbeit mit Thermoelementen können die für die jeweilige Temperatur gültigen Thermospannungen sogenannten internationalen Grundwertreihen [Ric90] entnommen werden.

Im Temperaturbereich von 73 K bis 1123 K ist die R(1)-Abhängigkeit durch das Polynom R(T)=Ro[1+A·T+B·T 2 +C·T 3 (T-100 °C)] mit folgenden Parametern gegeben [Ric90]: Ro = 100 il A 3,90802 . 20) für T > 0 OC. 20) muß die Temperatur Tin der Dimension °C eingesetzt werden. Aufgrund des kleinen negativen Koeffizienten B des quadratischen Gliedes hat die Kennlinie eine leicht degressive Krümmung. Der Temperatureinsatzbereich von Nickelsensoren ist wesentlich kleiner. Er beträgt -60 oc bis +180 °C. 21) mit folgenden Parametern (nach DIN 43760): 1000Q A = 5,485 · 10-3 K-1 B = 6,650 · 1Q-6 K-2 C 2,805 · 1Q-11 K-4 -2,000 · 1o-11 K-6 D Ro = = = Weil der Koeffizient B in GI.

0 • . • 0 • • D • ••• • ••• . 7 Reale Geometrie für Ausbreitungswiderstands-Si-Sensoren mit eingezeichneten Strombahnen Gl. 11) zeigt, daß der Grundwiderstand der Sensoren nur vom Kontaktlochdurchmesser abhängt und daß die Sensorcharakteristik ausschließlich durch die Temperaturabhängigkeit des spezifischen Widerstandes Q(T) des verwendeten Siliziums abhängt. 8 zeigt die Abhängigkeit des spezifischen Widerstand von n-Si von der Temperatur für verschiedene Dotierungen. Für den Sensor muß eine Dotierung gewählt werden, bei der sich Q möglichst stark mit der Temperatur ändert, dabei sollte der Temperaturgang Q(T) aber noch eine ausreichende Linearität aufweisen.

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